窒化ケイ素発熱体は、重要なタイプの高温構造用セラミックです。 熱膨張係数が低く、硬度が高く、弾性率が高く、熱温度性能、化学的安定性、エッジ特性が良好であるという特徴があります。 さらに、酸化や腐食にも耐性があります。 利点により、アプリケーションの見通しがあります。 純粋な窒化ケイ素は、室温ではマイクロ波エネルギーを吸収しません。 それはほとんどマイクロ波透過性の物質であり、加熱のためにそれ自身の誘電損失に依存しています。 サンプルを焼結温度まで均一に加熱する方法が、焼結の鍵となります。 窒化ケイ素セラミックの誘電損失は非常に低いだけでなく、温度によってあまり変化せず、その熱伝導率は良くありません。 加熱中、サンプルの亀裂やアークまたは局所的な過熱は発生しにくいです。
高純度α-Si3N4粉末を原料として、Al2O3、Y2O3を焼結助剤として使用し、量1を加え、混合後に媒体としてアルコールを使用し、Al2O3ボールを24時間ボールミルで粉砕し、乾燥および分散させ、粉末を30MPaの圧力でプリプレスします。次に、200MPa Pressをアイソスタティックに使用して、24×12（mm）のサンプルを形成します。 2.45GHz、6kW電子レンジ、加熱速度25℃/分を使用してください。 従来の焼結は黒鉛炉無加圧焼結を採用しており、焼成システムはマイクロ波焼結と同じであり、すべて窒素雰囲気で焼成されます。
マイクロ波でのγ-Si3N4の損失は低温では非常に小さいため、低温でマイクロ波を吸収する発熱体としてSiCが必要です。 サンプル温度が臨界温度の1390°Cを超えると、マイクロ波を吸収して発熱します。 結果は、マイクロ波が速度と密度でα-Si3N4のα相をβ相に変換できることを示しています。 同じ式と同じ焼結システムの下で、1750°Cでのマイクロ波焼結サンプルと従来の焼結サンプルの走査電子顕微鏡写真を比較すると、マイクロ波焼結材料のマトリックスにはより大きな細長い粒子があり、また、従来の焼結サンプルは、マイクロ波焼結時に1725°Cに保たれても、このような針状のβ-Si3N4サンプルはありませんが、1800°Cでの従来の焼結では、これほど多くの数を得ることができません。針状β-Si3N4サンプルの。
